【概述】

某研究團(tuán)隊(duì)使用ATA-2042高壓放大器，搭建光學(xué)測(cè)試實(shí)驗(yàn)系統(tǒng)。

實(shí)驗(yàn)名稱：壓電MEMS微鏡偏轉(zhuǎn)角度測(cè)試

實(shí)驗(yàn)內(nèi)容：主要包括對(duì)所制備的壓電MEMS偏轉(zhuǎn)振鏡進(jìn)行系統(tǒng)性的偏轉(zhuǎn)角度測(cè)試。通過(guò)對(duì)振鏡在不同驅(qū)動(dòng)條件下的機(jī)械偏轉(zhuǎn)行為進(jìn)行精確測(cè)量，可以定量評(píng)估其光學(xué)掃描性能，包括掃描范圍、響應(yīng)線性度及穩(wěn)定性等關(guān)鍵參數(shù)。這些實(shí)驗(yàn)結(jié)果不僅驗(yàn)證了器件的設(shè)計(jì)合理性和加工精度，也為后續(xù)在產(chǎn)品級(jí)應(yīng)用中優(yōu)化驅(qū)動(dòng)策略、提升掃描精度和可靠性提供了重要的實(shí)驗(yàn)依據(jù)和技術(shù)支撐。

研究方向：MEMS壓電器件

測(cè)試設(shè)備：ATA-2042高壓放大器、信號(hào)發(fā)生器、激光器、示波器、自研光學(xué)測(cè)試平臺(tái)等。

實(shí)驗(yàn)過(guò)程：

圖1：實(shí)驗(yàn)裝置圖

首先，由信號(hào)發(fā)生器輸出目標(biāo)頻率的高精度正弦激勵(lì)信號(hào)，該信號(hào)經(jīng)過(guò)嚴(yán)格調(diào)節(jié)以保證幅值和頻率的穩(wěn)定性。隨后，信號(hào)被ATA-2042高壓放大器放大至所需驅(qū)動(dòng)電壓水平，并施加至MEMS微鏡的驅(qū)動(dòng)端。在測(cè)試過(guò)程中，激光束垂直入射至微鏡鏡面，隨著施加的驅(qū)動(dòng)電壓作用，微鏡表面產(chǎn)生周期性的扭轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)，從而使反射光在置于光路中的白色光罩上形成連續(xù)、可觀測(cè)的掃描軌跡。通過(guò)對(duì)光罩上軌跡的觀察和測(cè)量，可以獲取微鏡的掃描角度，其對(duì)應(yīng)的光學(xué)掃描角為實(shí)際鏡面扭轉(zhuǎn)角的一半，從而實(shí)現(xiàn)對(duì)器件動(dòng)態(tài)響應(yīng)的定量分析。

實(shí)驗(yàn)結(jié)果：

圖2：實(shí)驗(yàn)結(jié)果

在Y軸偏轉(zhuǎn)模式下，隨著施加驅(qū)動(dòng)電壓的逐步增加，當(dāng)驅(qū)動(dòng)電壓升至35V時(shí)，微鏡的最大機(jī)械偏轉(zhuǎn)角達(dá)到了17.56°，這一結(jié)果表明在該驅(qū)動(dòng)條件下，微鏡能夠?qū)崿F(xiàn)較大的扭轉(zhuǎn)幅度并保持穩(wěn)定的動(dòng)態(tài)響應(yīng)。在X軸偏轉(zhuǎn)模式下，當(dāng)驅(qū)動(dòng)電壓提升至28V時(shí)，微鏡的最大偏轉(zhuǎn)角達(dá)到了20.04°，顯示出該軸在較低驅(qū)動(dòng)電壓下即可實(shí)現(xiàn)更大的掃描范圍。上述實(shí)驗(yàn)結(jié)果不僅反映了微鏡在不同偏轉(zhuǎn)軸上的力學(xué)特性差異，也為后續(xù)器件的驅(qū)動(dòng)電壓優(yōu)化及掃描性能調(diào)控提供了可靠的實(shí)驗(yàn)依據(jù)。

安泰放大器在此應(yīng)用中的產(chǎn)品優(yōu)勢(shì)：

一、高電壓與電流輸出能力——覆蓋電壓梯度驅(qū)動(dòng)需求

二、寬頻帶與高保真線性放大——匹配MEMS微鏡驅(qū)動(dòng)需求

三、高輸出穩(wěn)定性——保障實(shí)驗(yàn)的激勵(lì)一致性

【推薦產(chǎn)品】：ATA-2042高壓放大器

圖：ATA-2042高壓放大器指標(biāo)參數(shù)

本文實(shí)驗(yàn)素材由西安安泰電子整理發(fā)布。Aigtek已經(jīng)成為在業(yè)界擁有廣泛產(chǎn)品線，且具有相當(dāng)規(guī)模的儀器設(shè)備供應(yīng)商，樣機(jī)都支持免費(fèi)試用。西安安泰電子是專業(yè)從事功率放大器、高壓放大器、功率信號(hào)源、前置微小信號(hào)放大器、高精度電壓源、高精度電流源等電子測(cè)試儀器研發(fā)、生產(chǎn)和銷售的高科技企業(yè)。